雙光源共軛焦顯微鏡OPTELICS HYBRID+功能介紹

雙光源共軛焦顯微鏡同時包含雷射共軛焦顯微鏡、白光共軛焦顯微鏡

雙光源共軛焦顯微鏡，同時包含雷射共軛焦顯微鏡、白光共軛焦顯微鏡、微分干涉觀察、垂直白光干涉量測、相差干涉量測、反射分光膜厚量測，等功能。可以測試3D表面輪廓，奈米膜厚，透明膜厚，奈米等級刮痕瑕疵，相差干涉功能做到0.1nm高度差異，多層膜量測，多點量測，自動檢查刮傷。

6 大主要功能模組及 10 大特殊功能：

1. 雷射共軛焦顯微鏡 – 高放大倍率高分辨率
2. 白光共軛焦顯微鏡 – 寬視解及具有高精度量測
3. 微分干涉觀察 – 奈米級(nm)表面輪廓
4. 垂直白光干涉儀量測 – 奈米(nm)及形狀量測
5. 相差干涉量測 – 埃米級(Å or 0.1nm)形狀量測
6. 反射分光膜厚量測 – 奈米級(nm)透明膜厚度量測

   其他特殊功能：

   7. 多波長切換功能，可量測多層鍍膜的不同層型態
   8. 自動多點量測
   9. 自動檢查表面刮痕
   10. 特殊物鏡降低雜訊適合高精度 3D 輪廓量測