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MACHINE
半導体・自動化関連

空間静電除去システム││

基本単位

  1. ボディーの部分
    ①メインボディー
    ②アウトプット・モニター
    ③高電圧ケーブル
    ④ワイヤー電極
  2. フレームの部分（H3.5m x 8個）
  3. メインボディーの置く環境
  • 対象は浮遊粉塵。（有効範囲：広い空間）
  • 無塵室が消静電除去のせいで消耗する湿度コントロールコストを減少できる。
  • 対象物の極性にも関わらず、全文は削除でる。

空間静電除去システムとイオン静電エリミネーター(Ionizer)の比べる

項目 空間静電除去システム イオン静電エリミネーター
方法 高圧電が特製の導線に放電 先端放電が生じる正負イオン
電極の形 SUS材質の導線 金属針
送風が必要かどうか 無くても良い ほとんど必要ある
灰塵が生じるかどうか なし 電極の先端は灰塵が生じる
オジンが生じるかどうか なし はい
維持と保養 電極の清潔 電極の清潔と交換

架設した効果の例1 空間內の浮遊微塵の数量が減少した

架設した効果の例2 額外のコントロール湿度は必要なかった

架設した効果の例3 ウェハーの上に付いてる異物が減少した

システムの安全性

消費電力の計算

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